SEMICON CHINA 2016 3-17日在上海新國際博覽中心落下帷幕。中山市酷美電子攜公司射頻電源及自動匹配器系列產品參展獲得國內外商家的高度關注與認可。在半導體制造行業(yè)中,在生產芯片、處理器等半導體器件、薄膜太陽能電池、液晶等平板顯示器過程中,都要用到這種電源。是產生等離子體的配套電源,由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計組成,是八十年末期在我國新興的高科技領域,應用于射頻濺射,PECVD 化學氣相沉積,反應離子刻蝕等設備中。
在2008年以前射頻電源技術主要掌握在美、日、德等少數(shù)國家的少數(shù)廠家中,如美國的AE(Advanced Energy)、MKS(MKS Instruments)、日本的DAIHEN、德國的Huettinger等。
在八十年代末期我國雖然引進射頻電源的技術,也嘗試做過研發(fā)生產。但是由于關鍵技術無法突破,主要有(固態(tài)晶體管,自動匹配)等技術限制一直無法生產固態(tài)晶體管的射頻電源及能夠自動匹配的射頻阻抗匹配器。這當中尤其以自動匹配更為重中之重。故我國的射頻電源研發(fā)及應用一直停步不前。根本無法與國外的射頻電源廠商競爭。
隨著九十年代我國第一臺固態(tài)晶體管誕生,但是射頻自動匹配一直使我們無法突破的屏障。隨著時間的轉移2008年中山市格美電子研發(fā)出我國第一臺國產射頻自動匹配器。打破了外國廠商一直壟斷的國內市場。隨著這幾年我們不斷的完善與改進。K-Mate 射頻電源及自動匹配器越來越多的出現(xiàn)在國內的實驗及產線設備上。并獲得國內許多知名企業(yè)及行業(yè)資深人士的認可。同時逐步銷往一些東南亞國家。
2016我們整裝待發(fā),從國內走向國際市場
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